平面度或形状误差检测 — 非接触测量，用于确定实际表面与标准的偏差。
平面度和平面度的重复性精度要高，减少引入传感器扫描数据的运动伪影。
多轴组合
—线性和转台组合，螺旋扫描，增强系统灵活性，满足自由度和扫描行程；
—结合线性和转台的定制设计，例如XY-AB、XYAB-Z。
XY轴平面式气浮结构
—尽可能降低工作距离，减少阿贝误差影响，提高精度性能；
—直驱方式，提高生产效率；
—自动对焦控制功能，将非接触探头保持在轮廓零件上的传感器范围内；
—提高整定时间及动态精度性能。
